真空熱處理技術(shù)是近些年發(fā)展起來的一種新型的熱處理技術(shù)，它所具備的特點，正是模具制造中所迫切需要的，比如防止加熱氧化和脫碳，真空脫氣或除氣，消除氫脆，從而提高模具零件的塑性、韌性和疲勞強度。真空加熱緩慢、零件內(nèi)外溫差較小等因素，決定了真空熱處理工藝造成的零件變形小等。

按采用的冷卻介質(zhì)不同，真空淬火可分為真空油冷淬火、真空氣冷淬火、真空水冷淬火和真空硝鹽等溫淬火。模具真空熱處理中主要應(yīng)用的是真空油冷淬火、真空氣冷淬火和真空回火。為保持工件真空加熱的優(yōu)良特性，淬火介質(zhì)和冷卻工藝的選擇及制訂非常重要，模具淬火過程主要采用油冷和氣冷。

對于熱處理后不再進(jìn)行機械加工的模具工作面，淬火后盡可能采用真空回火，特別是真空淬火的工件，它可以提高與表面質(zhì)量相關(guān)的力學(xué)性能，如疲勞性能、表面光亮度、耐蝕性等。

熱處理過程的計算機模擬技術(shù)（包括組織模擬和性能預(yù)測技術(shù)）的成功開發(fā)和應(yīng)用，使得模具的智能化熱處理成為可能。由于模具生產(chǎn)的小批量或單件、多品種的特性，以及對熱處理性能要求高和不允許出現(xiàn)廢品的特點，又使得模具的智能化熱處理成為必需。模具的智能化熱處理包括：明確模具的結(jié)構(gòu)、用材、熱處理性能要求；模具加熱過程溫度場、應(yīng)力場分布的計算機模擬；模具冷卻過程溫度場、相變過程和應(yīng)力場分布的計算機模擬；加熱和冷卻工藝過程的仿真；淬火工藝的制訂；熱處理設(shè)備的自動化控制技術(shù)。工業(yè)發(fā)達(dá)國家，如美國、日本等，在真空高壓氣淬方面，已經(jīng)開展了這方面的技術(shù)研發(fā)，主要針對目標(biāo)也是模具。