在常壓下碳的脫氧能力與硅相當，而在10²Pa的真空下，碳的脫氧能力超過鋁達到與鋯相當?shù)乃?，這是真空提高了碳的脫氧能力。

碳與氧的化合反應表達式為：

[C]+[O]=CO(g)

碳的氧化反應（即脫氧反應）產物為氣體CO。在真空感應爐內，反應產生的CO氣體從鋼液中逸出后，不斷地被真空泵抽出爐外。爐內空間CO數(shù)量很少，脫氧反應繼續(xù)向右進行。如果真空泵不停地抽出爐內氣體，脫氧反應就不停地向右進行，鋼液含氧量會繼續(xù)降低。這就是真空能提高碳脫氧能力的簡單道理。

這種脫氧方法，不會產生污染鋼液的脫氧產物，是生產純凈鋼的重要方法。真空下碳脫氧的重要性就在于此。