化學(xué)熱處理工藝包括滲劑的化學(xué)組成和配比，滲劑分解反應(yīng)過(guò)程的控制和參數(shù)測(cè)定，滲入溫度和時(shí)間，工件的準(zhǔn)備，滲后的冷卻規(guī)程及熱處理，化學(xué)熱處理后工件的清理以及裝爐量等等。無(wú)論何種化學(xué)熱處理工藝，若按其滲劑在化學(xué)熱處理爐內(nèi)的物理狀態(tài)分類(lèi)，則可分為固體滲、氣體滲、液體滲、膏糊體滲、液體電解滲、等離子體滲和氣相沉積等工藝。 

  1.固體滲

  所用的滲劑是具有一定粒度的固態(tài)物質(zhì)。它由供滲劑（如滲碳時(shí)的木炭）、催滲劑（如滲碳時(shí)的碳酸鹽）及填料（如滲鋁時(shí)的氧化鋁粉）按一定配比組成。這種方法較簡(jiǎn)便，將工件埋入填滿(mǎn)滲劑的鐵箱內(nèi)并密封，放入加熱爐內(nèi)加熱保溫至規(guī)定的時(shí)間即可，但質(zhì)量不易控制，生產(chǎn)效率低。 

  2.氣體滲

  所用滲劑的原始狀態(tài)可以是氣體，也可以是液體（如滲碳時(shí)用煤油滴入爐內(nèi)），但在化學(xué)熱處理爐內(nèi)均為氣態(tài)。對(duì)所用滲劑要求能易于分解為活性原子，經(jīng)濟(jì)，易于控制，無(wú)污染，滲層具有較好性能。很多情況下可用其他氣體（如氫、氮或惰性氣體）將滲劑載入爐內(nèi)；例如滲硼時(shí)可用氫氣將滲劑BCl3或B2H6載入爐內(nèi)。等離子體滲法是氣體滲的新發(fā)展,即輝光離子氣滲法；最早應(yīng)用于滲氮，后來(lái)被應(yīng)用于滲碳、碳氮共滲、硫氮共滲等方面。氣相沉積法也是一種氣滲的新發(fā)展，主要應(yīng)用于不易在金屬內(nèi)擴(kuò)散的元素（如鈦、釩等）。主要特點(diǎn)是氣態(tài)原子沉積在鋼件表面并與鋼中的碳形成硬度極高的碳化物覆蓋層，或與鐵形成硼化物等。 

  3.液體滲

  滲劑是熔融的鹽類(lèi)或其他化合物。它由供滲劑和中性鹽組成。為了加速化學(xué)熱處理過(guò)程進(jìn)行，附加電解裝置后成為電解液體滲。在硼砂鹽浴爐內(nèi)滲金屬的處理法是近年發(fā)展起來(lái)的工藝，主要應(yīng)用于鈦、鉻、釩等碳化物形成元素的滲入。

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