滲氮（又稱氮化）是將氮滲入鋼件表面，以提高其硬度、耐磨性、疲勞強(qiáng)度和耐蝕性能的一種化學(xué)熱處理方法。

離子滲氮技術(shù)于1930年由Berghaus發(fā)明并獲得德國(guó)專利。20世紀(jì)70年代之后取得快速發(fā)展并逐漸成為材料表面改性工程中最實(shí)用的技術(shù)之一。

離子滲氮是在0.1~10 Torr的含氮?dú)夥罩?，以爐體為陽(yáng)極，被處理工件為陰極，在陰陽(yáng)極之間加上數(shù)百伏的直流電壓。真空環(huán)境下，等離子體在電壓的作用下形成定向移動(dòng)，其中帶正電荷粒子對(duì)陰極（被處理工件）形成轟擊，將動(dòng)能轉(zhuǎn)化為內(nèi)能，提高被處理工件溫度。轟擊除了對(duì)表面起到清理作用以外，還會(huì)產(chǎn)生像霓虹燈一樣的柔光覆蓋在被處理工件的表面，所以離子滲氮又稱為輝光離子滲氮或輝光等離子滲氮。同時(shí)陰陽(yáng)極之間經(jīng)過(guò)一系列復(fù)雜的物理化學(xué)反應(yīng)使產(chǎn)品表面滲氮，硬度與耐磨性提高。

離子氮化的顯著特點(diǎn)是氮化速度快，熱效率高，節(jié)約能耗，綠色環(huán)保無(wú)污染。